일본이 '수출 규제'한 반도체 불산 재사용 기술 개발한 이재용의 삼성전자

삼성전자 이재용 부회장 / 사진=인사이트

[인사이트] 전준강 기자 = 이재용 부회장의 삼성전자가 반도체 세정에 쓰이는 불산(액화 불화수소)을 재사용할 수 있는 시스템 개발 완성 막바지에 이르렀다.

그동안 수출 규제 속에서도 일본에 의존해야 했던 물량을 상당 부분 낮출 수 있을 것으로 기대된다.

지난 15일 머니투데이는 최근 삼성전자가 고농도 불화수소 세정액을 재사용할 수 있는 시스템을 개발해 화성 반도체사업장 1개 라인에서 시범운영 중이라고 보도했다.

원래 반도체 기술경쟁에서 불화수소 세정액은 재사용하지 않는다. 한차례 사용한 뒤 폐기된다.

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하지만 삼성전자는 이를 재사용하는 기술을 만들어냈다. 웨이퍼 뒷면 세척 공정에서 불산을 재사용하는 시스템인 것.

배선 공정 이후 웨이퍼 표면에 남은 금속 오염물질을 제거한다. 머니투데이는 "삼성전자는 여러 단계의 테스트를 거쳐 불화수소 혼합액의 80%가량을 재활용하면서 생산 매수 1500매까지 품질 안정성을 확보하는 최적 조건을 찾아냈다"라고 전했다.

이 기술이 완전히 자리 잡는다면 기존 불화수소 사용량의 87%가 줄어들 것으로 기대된다.

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해당 시스템은 기술력 자체도 긍정적이지만 공장 환경도 획기적으로 개선할 수 있는 것으로 알려진다. 사고 위험이 줄어드는 것이다.

해당 품목이 한일 관계에 따라 소재 확보가 좌우되는 만큼 업계는 삼성전자의 이 같은 시스템 개발을 긍정적으로 보고 있다.